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白光測量光學(xué)干涉儀

簡要描述:SuperViewW1白光測量光學(xué)干涉儀用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。可以測量可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

  • 更新時(shí)間:2024-05-12
  • 產(chǎn)品型號:SuperViewW1
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 訪  問  量:1227

詳細(xì)介紹

品牌CHOTEST/中圖儀器價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),航天,制藥,汽車,綜合

SuperViewW1白光測量光學(xué)干涉儀用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。可以測量可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。也叫光學(xué)3D表面輪廓測量儀


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產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


結(jié)果組成:

1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測量;

5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

6、微電子表面分析和MEMS表征。


超精密加工.jpg

超精密加工

大尺寸樣品_拼接測量.jpg

大尺寸樣品拼接測量


針對芯片封裝測試流程的測量需求,SuperViewW1白光測量光學(xué)干涉儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍,可覆蓋8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì),隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。


白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下,測量精度和重復(fù)性高于共聚焦顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域,除了白光干涉儀,其它儀器達(dá)不到檢測的精度要求。


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